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Single Wafer System in single wafer or in mini-batch mode
 

 

 PVA tepla Plasma Surfaces Cleaning and Activating Systems

PVA tepla provides Plasma Surfaces Cleaning and Activating System. Due to the use of microwaves the systems delivers fast, low temperature and damage free chemical surface treatment.



· Bacth Wafer System with different configurations and automation level 



Single Wafer System  in single wafer or in mini-batch mode.  Different sources of plasma could be offered for different applications.




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