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ATV PEO-604氧化炉
氧化扩散炉
ATV PEO-604 opend ATV PEO-604 closed
应用
干氧，湿氧，扩散。
特点
适用至200毫米的晶圆的各种炉式工艺。
· 温度250度-1100度。
· 100wafer/每炉。
· 真空度至5x10-6mbar
· 温度均匀度 +/-1.5度
· 恒温区：320mm
氧化扩散炉
ATV PEO-604 opend ATV PEO-604 closed
应用
干氧，湿氧，扩散。
特点
适用至200毫米的晶圆的各种炉式工艺。
· 温度250度-1100度。
· 100wafer/每炉。
· 真空度至5x10-6mbar
· 温度均匀度 +/-1.5度
· 恒温区：320mm