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MOT清洗甩干设备
清洗甩干系统 Spin Rinse Dryer µSRD
MOT µSRD 是一个先进的旋转漂洗干燥机系统，由MOT有限公司开发。µSRD是一款湿式加工工具，设计用于清洗和干燥所有批量应用的晶圆。独立的MOT µSRD专为便于操作和维护而设计。一盒晶片放在不锈钢转子中。该系统完全由塑料(聚丙烯白色)制成，因此保证最大限度地抵抗酸或碱的化学侵蚀
技术特点
晶圆尺寸: ≤ 300mm
应用范围: 晶圆片冲洗和甩干
主要功能
· 整盒批量工艺（25片）
· 适合高低标准片盒
· 清洗、干燥和氮气吹干步骤可编程
· 采用触摸屏为人机控制界面
配置选项
· 转筒电离设计
· 去离子水回收
· 去离子水加热系统
· 阻尼监测
· 可选不锈钢设计，可用于有机溶剂清洗
· 可选灭火防火系统，可用于有机溶剂清洗
