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MOT电化学蚀刻设备
湿法蚀刻系统 ETCHING MODULE µCHEM
蚀刻单元μChem是微机械系统、半导体、光学和太阳能行业所需的所有湿化学工艺步骤中必不可少的湿化学工艺工具。由于灵活的布置和构造，蚀刻系统μChem是工业或R&D研发需求的理想工具。该系统完全由塑料(聚丙烯白色)制成，以保证最大限度地抵抗酸或碱的化学攻击。根据德国环境保护法，该系统有一个液位控制盘，可用于安全储存化学品或实验室工具。当然，在清除技术细节后，定制的解决方案是可用的。
技术特点
晶圆尺寸: ≤ 300mm
应用范围: MEMS, CMOS, 传感器, PV, 研发或生产,
蚀刻模块
· 整盒批量或者单片工艺，清洗、蚀刻、溶解 等工艺
· 客户定制工艺槽容量以及对应工艺设备定制
· PLC 控制
· 采用触摸屏为人机控制界面
配置选项
· 全自动机械手传输
· 工艺药水循环并过滤
· 超声或者兆声源可选
· 化学药水输送管理
· 片盒（夹具）抖动方式可选
· FFU层流过滤系统
清洗模块
· 标准:360度溢流清洗,
· 可选:QDR, SRD
设备设计结构
· 所有工艺单元都放置在前面的操作区。
· 所有电气控制部分都放置在设备后面的维修区域，做到干湿分离。
· 去离子水枪和氮气枪装均放置在操作区。
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