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3DMM 激光激活退火机
3DMM 激光加工系统
3DMM公司的激光设备适用于许多加工工艺。
- 硅，玻璃，陶瓷等等材料的打孔。
- SiC无损伤裂片
- 离子注入后的激光激活，SiC工艺中的欧姆接触。
- TEM样品的制作。
激光打孔机
激光激活退火机（用于磁传感器，IGBT和SiC芯片生产）
激光裂片
激光样品加工（TEM样品）
